采用陶瓷制作X轴驱动装置的导轨 X.Y轴上内建清晰玻璃刻度。(X轴清晰度:0.05μm,Y轴1μm) 装配有高精确度的测头 装配有多种功能,如:线性补偿功能,圆度补偿功能等 测头和滑道都可轻松替换 在SV-2000S2,SV-3000S4/H4/W4/S8/H8/W8这几个型号中,还提供具有“简便操作”功能的控制台。
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