规格参数：

   测量范围：

X向行程：200㎜                    圆工作台直径：φ213㎜

Y向行程：100㎜                    平工作台尺寸（㎜）：260×270

测角目镜角度分划范围：360°        顶针间的最大夹紧长度：700㎜

螺纹轮廓目镜角度分划范围：±7°    顶针间能容纳的最大直径：φ100㎜

圆工作台角度分划范围：0°~360°    高顶针架最大夹紧长度：200㎜

圆分度头角度分划范围：0°~360°    高顶针架能容纳的最大直径：φ250㎜

主显微镜立柱的倾斜范围：±12°     干涉狭缝旋转范围：±90°

   分度值：

X、Y向分度值：0.0002㎜            圆工作台角度分度值：30″

测角目镜角度分度值:1′              圆分度头角度分度值：1′

轮廓目镜角度分度值：±12           主显微镜立柱倾斜角度分度值：30′

测量准确度（被测件与仪器温度差别不大于0.5℃,仪器室内温度20℃±1℃）：

(1+L/100)μm，其中L为测量长度，单位：㎜

物镜放大率，工作距离及视场直径：

物镜放大率	总放大率	工作距离（㎜）	视场直径（㎜）
1×	10×	≈79	≈26.70
3×	30×	≈69	≈6.7
5×	50×	≈49	≈4

光学定位器的主要技术参数:

   测杆垂直方向摆动范围:±3°                定位变动性：＜1μm

   孔径大于5㎜时，可测孔的最大深度：≈15㎜ 测力（N）：0.1±0.03

测量范围(㎜):5-200

仪器主机外形尺寸(㎜)长×宽×高=1300×1250×80

仪器主机重量：450㎏